晶圓切割主要包括：貼膜、切割、解UV膠

2022-11-01 0

晶圓切割（即芯片）是芯片制造過(guò)程中不可或缺的過(guò)程，屬于晶圓制造的后一個(gè)過(guò)程。晶圓切割是將芯片的整個(gè)晶圓根據(jù)芯片的大小分成單個(gè)芯片（晶粒）。

貼膜機(jī)

最早的晶圓用切片系統(tǒng)進(jìn)行切割（劃片），這種方法以往占據(jù)了世界芯片切割市場(chǎng)的較大份額，特別是在非集成電路晶圓切割領(lǐng)域。鉆石鋸片（砂輪）切割方法是一種更常見(jiàn)的晶圓切割方法。新的切割方法是激光進(jìn)行無(wú)切割處理。

砂輪劃片機(jī)

晶圓切割過(guò)程主要包括：貼膜、切割、解UV膠。

將晶圓切割成單獨(dú)的晶圓die切割高速旋轉(zhuǎn)的金剛石刀片，形成獨(dú)立的單晶，為后續(xù)工藝做準(zhǔn)備。晶圓切割需要特定的切割機(jī)刀片。

繃帶是切割前的晶圓固定過(guò)程，在晶圓背面貼一層藍(lán)膜，固定在金屬框架上，有利于后切。

切割過(guò)程中需要去離子水（DI純水)沖洗切割產(chǎn)生的硅渣，釋放靜電，專業(yè)制備的小型設(shè)備去離子水「純水機(jī)」制備。

UV照射是用紫外線映照切割的藍(lán)膜，以降低藍(lán)膜的粘度，方便后續(xù)挑粒。

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